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减震平台典型应用

点击:14551 发布时间:2026-04-15

减震平台典型应用:多领域的关键支撑

减震平台.jpg

· 科学研究与实验室:用于电子显微镜(SEM/TEM)、原子力显微镜(AFM)等高精度观测设备;以及激光干涉、量子光学等光路系统。

· 半导体与微电子制造:用于光刻机、晶圆检测等核心制程设备;以及高精度轮廓仪、台阶仪等检测设备。

· 高端工业制造:为三坐标测量机(CMM)、圆度仪等提供抗干扰保障;同时用于大型光学望远镜、航空发动机装配等极端场景。

· 建筑与基础设施:用于地震隔离/免震平台,保护建筑内贵重设备与艺术品;或作为精密设备产线厂房整体隔振系统的基础。


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